Në fushat e prodhimit preciz dhe kërkimit shkencor, sheshtësia e platformave precize prej graniti është një tregues kyç për të siguruar saktësinë e pajisjeve. Më poshtë është një hyrje e detajuar për ju në disa metoda kryesore të zbulimit dhe procedurat e tyre të funksionimit.
I. Metoda e Zbulimit me Interferometër Lazeri
Interferometri lazer është mjeti i preferuar për zbulimin e rrafshësisë me precizion të lartë. Merrni si shembull interferometrin lazer ZYGO GPI XP, rezolucioni i të cilit mund të arrijë 0.1 nm. Gjatë kryerjes së zbulimit, së pari vendosni burimin e dritës së interferometrit në platformë dhe ndani sipërfaqen e platformës në zona rrjete 50 mm × 50 mm. Më pas, të dhënat e interferencës u mblodhën pikë për pikë dhe të dhënat u përshtatën dhe u analizuan duke përdorur polinomin Zernike për të marrë gabimin e rrafshësisë. Kjo metodë është e zbatueshme për platformat me precizion të lartë dhe mund të zbulojë gabime rrafshësie prej ≤0.5 μm/m². Përdoret zakonisht në zbulimin e makinave fotolitografike dhe platformave të makinave matëse me tre koordinata të nivelit të lartë.
II. Metoda e Matricave Elektronike të Nivelit
Zbulimi i matricave elektronike të nivelit është i thjeshtë për t’u përdorur dhe shumë efikas. Nivelacioni elektronik TESA A2 (me një rezolucion prej 0.01μm/m) u zgjodh dhe u rregullua në një matricë 9×9 përgjatë drejtimit të boshtit X/Y të platformës. Duke mbledhur në mënyrë sinkrone të dhënat e pjerrësisë së secilit nivel dhe më pas duke përdorur metodën e katrorëve më të vegjël për llogaritjen, vlera e rrafshësisë mund të merret me saktësi. Kjo metodë mund të identifikojë në mënyrë efektive kushtet lokale të konkavitetit dhe konveksitetit të platformës. Për shembull, mund të zbulohet edhe një luhatje prej 0.2μm brenda një diapazoni 50 mm, e cila është e përshtatshme për zbulim të shpejtë në prodhimin masiv.
III. Metoda e kristalit optik të sheshtë
Metoda e kristalit optik të sheshtë është e përshtatshme për zbulimin e platformave me sipërfaqe të vogël. Bashkangjitni kristalin optik të sheshtë fort në sipërfaqen që do të testohet në platformë dhe vëzhgoni skajet e interferencës të formuara midis tyre nën ndriçimin e një burimi drite monokromatik (siç është një llambë natriumi). Nëse vijat janë vija paralele të drejta, kjo tregon një sheshtësi të mirë. Nëse shfaqen vija të lakuara, llogaritni gabimin e sheshësisë bazuar në shkallën e lakimit të vijës. Çdo vijë e lakuar përfaqëson një ndryshim lartësie prej 0.316 μm, dhe të dhënat e sheshësisë mund të merren përmes konvertimit të thjeshtë.
Katër. Metoda e inspektimit të makinës matëse me tre koordinata
Makina matëse me tre koordinata mund të arrijë matje me precizion të lartë në hapësirën tre-dimensionale. Vendosni platformën e granitit në tryezën e punës të makinës matëse dhe përdorni sondën për të mbledhur në mënyrë uniforme të dhëna nga pika të shumta matjeje në sipërfaqen e platformës. Sistemi i makinës matëse përpunon dhe analizon këto të dhëna për të gjeneruar një raport të sheshtësisë së platformës. Kjo metodë jo vetëm që mund të zbulojë sheshtësinë, por edhe të marrë parametra të tjerë gjeometrikë të platformës njëkohësisht, dhe është e përshtatshme për zbulimin gjithëpërfshirës të platformave të mëdha të granitit.
Zotërimi i këtyre metodave të zbulimit mund t'ju ndihmojë të vlerësoni me saktësi sheshtësinë e platformës së precizionit të granitit dhe të ofroni një garanci të besueshme për funksionimin e qëndrueshëm të pajisjeve precize.
Koha e postimit: 29 maj 2025