Në fushën e prodhimit të nivelit të lartë dhe kërkimit shkencor të përparuar, moduli i lëvizjes ultra-precize i notuesit me ajër është bërë një pajisje kyçe për funksionimin dhe matjen e imët me performancën e tij të shkëlqyer të precizionit. Baza e precizionit prej graniti, si bërthama mbështetëse, ka kërkesa të rrepta për mjedisin e punës, dhe kushtet e përshtatshme mjedisore janë baza për të siguruar performancën e saj të qëndrueshme dhe efektin më të mirë.
Së pari, kontrolli i temperaturës: "stabilizues" preciz
Edhe pse graniti njihet për stabilitetin e tij, ai nuk është plotësisht imun ndaj ndryshimeve të temperaturës. Edhe pse koeficienti i tij i zgjerimit termik është i ulët, përgjithësisht 5-7 ×10⁻⁶/℃, në skenarët e kontrollit të lëvizjes me precizion ultra, luhatjet delikate të temperaturës mund të shkaktojnë ende ndryshime dimensionale dhe të ndikojnë në saktësinë e modulit. Në punishten e prodhimit të çipave gjysmëpërçues, procesi i litografisë kërkon një saktësi pozicionimi në nivelin danami, dhe temperatura e ambientit luhatet me 1 °C, dhe baza e granitit me një gjatësi anësore prej 1 metër mund të prodhojë një zgjerim ose tkurrje lineare prej 5-7 mikronësh. Ky ndryshim i vogël transmetohet nga moduli i lëvizjes me precizion ultra të notuesit të ajrit, i cili është i mjaftueshëm për të bërë devijimin e modelit të litografisë së çipit dhe për të ulur ndjeshëm rendimentin. Prandaj, i pajisur me bazën precize prej graniti të modulit të lëvizjes ultra precize me ajër lundrues, temperatura ideale e mjedisit të punës duhet të kontrollohet në 20 °C ±1 °C, me ndihmën e pajisjeve me temperaturë konstante me precizion të lartë, siç është sistemi i kondicionimit të ajrit me temperaturë dhe lagështi konstante, monitorimin dhe rregullimin e vazhdueshëm të temperaturës së ambientit, për të siguruar që luhatjet e temperaturës të jenë në një gamë shumë të vogël, të ruajnë stabilitetin e madhësisë së bazës, për të siguruar funksionimin me precizion të lartë të modulit.
Së dyti, menaxhimi i lagështisë: çelësi i mbrojtjes nga lagështia e "gurit"
Lagështia është një faktor tjetër i rëndësishëm që ndikon në performancën e bazës së granitit me precizion. Në një mjedis me lagështi të lartë, graniti thith lehtë avujt e ujit, të cilët mund të çojnë në kondensim në sipërfaqe, gjë që jo vetëm ndikon në stabilitetin e lidhjes së granitit dhe modulit të lëvizjes ultra-precize të notuesit me ajër, por gjithashtu mund të shkaktojë erozion të sipërfaqes dhe të zvogëlojë shkëlqimin dhe saktësinë në planin afatgjatë. Në punishten e bluarjes së lenteve optike, nëse lagështia është më e lartë se 60% RH për një kohë të gjatë, avujt e ujit të adsorbuar në sipërfaqen e bazës së granitit do të ndërhyjnë në lëvizjen e rrëshqitësit të notuesit me gaz, duke ulur kështu saktësinë e bluarjes së lenteve dhe duke dëmtuar sipërfaqen. Prandaj, lagështia relative e mjedisit të punës duhet të kontrollohet rreptësisht midis 40%-60% RH, e cila mund të monitorohet dhe rregullohet në kohë reale duke instaluar tharëse lagështie, sensorë lagështie dhe pajisje të tjera për të shmangur dëmtimin e bazës së granitit për shkak të lagështisë së lartë, dhe për të siguruar funksionimin e qetë të modulit të lëvizjes ultra-precize të notuesit me ajër.
Së treti, garancia e pastërtisë: "rojtari" i saktësisë
Dëmi i grimcave të pluhurit në bazën e granitit me precizion të modulit të lëvizjes ultra-precize të notimit me ajër nuk mund të nënvlerësohet. Pasi grimcat e vogla hyjnë në hendekun e filmit të gazit midis rrëshqitësit të notuesit me gaz dhe bazës së granitit, ato mund të shkatërrojnë uniformitetin e filmit të gazit, të rrisin fërkimin dhe madje të gërvishtin sipërfaqen e bazës, duke rezultuar në uljen e saktësisë së lëvizjes. Në punishten e përpunimit ultra-preciz të pjesëve të hapësirës ajrore, nëse grimcat e pluhurit në ajër bien mbi bazën e granitit, trajektorja e lëvizjes së mjetit të përpunimit mund të devijohet, duke ndikuar në saktësinë e përpunimit të pjesëve. Prandaj, zona e punës duhet të mbahet shumë e pastër, duke arritur nivele 10,000 ose edhe më të larta të standardeve të pastërtisë, përmes instalimit të pajisjeve të pastrimit të ajrit, siç janë filtrat e ajrit me efikasitet të lartë (HEPA), të cilat filtrojnë grimcat e pluhurit në ajër, në të njëjtën kohë, stafi duhet të veshë rroba pa pluhur, mbulesa këpucësh etj., për të zvogëluar pluhurin e sjellë nga njerëzit. Ruajtja e një mjedisi operativ me precizion të lartë të bazës së granitit dhe modulit të lëvizjes ultra-precize të notuesit me ajër.
Katër, izolimi i dridhjeve: funksionimi i qetë i "jastëkut të goditjes"
Dridhja e jashtme është armiku i precizitetit të modulit të lëvizjes ultra-precize të notuesit me ajër. Edhe pse baza e granitit me precizion ka një aftësi të caktuar zbutjeje të dridhjeve, dridhja me rezistencë të lartë mund të kalojë prapë kufirin e saj të tamponit. Dridhja e gjeneruar nga trafiku përreth fabrikës dhe funksionimi i pajisjeve të mëdha mekanike transmetohet në bazën e granitit përmes tokës, gjë që do të ndërhyjë në saktësinë e lëvizjes së modulit të lëvizjes ultra-precize të notuesit me ajër. Në CMM të nivelit të lartë, dridhja mund të shkaktojë paqëndrueshmëri të kontaktit midis sondës matëse dhe pjesës së punës që do të matet, duke rezultuar në devijim të të dhënave të matjes. Për të zgjidhur këtë problem, është e nevojshme të merren masa efektive të izolimit të dridhjeve, të tilla si vendosja e jastëkëve të izolimit të dridhjeve në zonën e instalimit të pajisjeve, ndërtimi i themelit të izolimit të dridhjeve ose përdorimi i një sistemi aktiv të izolimit të dridhjeve për të kompensuar në mënyrë aktive dridhjet e jashtme, dhe për të krijuar një mjedis pune të qetë dhe të qëndrueshëm për bazën e precizionit të granitit dhe modulin e lëvizjes ultra-precize të notuesit me ajër.
Vetëm duke përmbushur plotësisht kërkesat mjedisore të temperaturës, lagështisë, pastërtisë dhe kontrollit të dridhjeve, baza e precizionit të granitit të modulit të lëvizjes ultra-precize të notuesit të ajrit mund t'i japë përparësi të plota performancës së saj, të ofrojë garanci të besueshme për operacione ultra-precize në fusha të ndryshme dhe të ndihmojë industrinë të ecë drejt një niveli më të lartë prodhimi dhe kërkimi shkencor me precizion më të lartë.
Koha e postimit: 08 Prill 2025