Në fushën e prodhimit të gjysmëpërçuesve, si pajisja kryesore që përcakton saktësinë e procesit të prodhimit të çipave, stabiliteti i mjedisit të brendshëm të makinës fotolitografike është me rëndësi jetike. Nga ngacmimi i burimit ekstrem të dritës ultravjollcë deri te funksionimi i platformës së lëvizjes precize në shkallë nano, nuk mund të ketë asnjë devijim më të vogël në çdo hallkë. Bazat e granitit, me një sërë vetish unike, demonstrojnë avantazhe të pakrahasueshme në sigurimin e funksionimit të qëndrueshëm të makinave fotolitografike dhe rritjen e saktësisë së fotolitografisë.
Performancë e shkëlqyer mbrojtëse elektromagnetike
Brendësia e një makine fotolitografike është e mbushur me një mjedis kompleks elektromagnetik. Ndërhyrja elektromagnetike (EMI) e gjeneruar nga komponentë të tillë si burimet ekstreme të dritës ultravjollcë, motorët e drejtimit dhe furnizimet me energji me frekuencë të lartë, nëse nuk kontrollohen në mënyrë efektive, do të ndikojnë seriozisht në performancën e komponentëve elektronikë precizë dhe sistemeve optike brenda pajisjeve. Për shembull, ndërhyrja mund të shkaktojë devijime të vogla në modelet e fotolitografisë. Në proceset e përparuara të prodhimit, kjo është e mjaftueshme për të çuar në lidhje të pasakta të tranzistorit në çip, duke ulur ndjeshëm rendimentin e çipit.
Graniti është një material jo-metalik dhe nuk përçon energji elektrike vetë. Nuk ka fenomen induksioni elektromagnetik të shkaktuar nga lëvizja e elektroneve të lira brenda si në materialet metalike. Kjo karakteristikë e bën atë një trup mbrojtës natyral elektromagnetik, i cili mund të bllokojë në mënyrë efektive rrugën e transmetimit të ndërhyrjes së brendshme elektromagnetike. Kur fusha magnetike alternative e gjeneruar nga burimi i jashtëm i ndërhyrjes elektromagnetike përhapet në bazën e granitit, meqenëse graniti nuk është magnetik dhe nuk mund të magnetizohet, fusha magnetike alternative është e vështirë të depërtojë, duke mbrojtur kështu komponentët kryesorë të makinës fotolitografike të instaluar në bazë, siç janë sensorët precizë dhe pajisjet e rregullimit të lenteve optike, nga ndikimi i ndërhyrjes elektromagnetike dhe duke siguruar saktësinë e transferimit të modelit gjatë procesit të fotolitografisë.
Përputhshmëri e shkëlqyer me vakumin
Meqenëse drita ekstreme ultraviolet (EUV) absorbohet lehtësisht nga të gjitha substancat, përfshirë ajrin, makinat e litografisë EUV duhet të funksionojnë në një mjedis vakumi. Në këtë pikë, përputhshmëria e përbërësve të pajisjeve me mjedisin e vakumit bëhet veçanërisht e rëndësishme. Në një vakum, materialet mund të treten, të desorbojnë dhe të lëshojnë gaz. Gazi i lëshuar jo vetëm që thith dritën EUV, duke zvogëluar intensitetin dhe efikasitetin e transmetimit të dritës, por gjithashtu mund të kontaminojë lentet optike. Për shembull, avujt e ujit mund të oksidojnë lentet, dhe hidrokarburet mund të depozitojnë shtresa karboni në lente, duke ndikuar seriozisht në cilësinë e litografisë.
Graniti ka veti kimike të qëndrueshme dhe mezi lëshon gaz në një mjedis vakumi. Sipas testimeve profesionale, në një mjedis vakumi të simuluar të makinës fotolitografike (siç është mjedisi ultra i pastër vakumi në të cilin ndodhen sistemi optik i ndriçimit dhe sistemi optik i imazhit në dhomën kryesore, që kërkon H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), shkalla e nxjerrjes së gazrave nga baza e granitit është jashtëzakonisht e ulët, shumë më e ulët se ajo e materialeve të tjera si metalet. Kjo i mundëson brendësisë së makinës fotolitografike të ruajë një shkallë të lartë vakumi dhe pastërtie për një kohë të gjatë, duke siguruar transmetim të lartë të dritës EUV gjatë transmetimit dhe një mjedis përdorimi ultra të pastër për lentet optike, duke zgjatur jetëgjatësinë e sistemit optik dhe duke përmirësuar performancën e përgjithshme të makinës fotolitografike.
Rezistencë e fortë ndaj dridhjeve dhe stabilitet termik
Gjatë procesit të fotolitografisë, preciziteti në nivelin nanometër kërkon që makina e fotolitografisë të mos ketë as dridhjen më të vogël ose deformimin termik. Dridhjet mjedisore të gjeneruara nga funksionimi i pajisjeve të tjera dhe lëvizja e personelit në punishte, si dhe nxehtësia e prodhuar nga vetë makina e fotolitografisë gjatë funksionimit, mund të ndërhyjnë në saktësinë e fotolitografisë. Graniti ka një dendësi të lartë dhe një strukturë të fortë, dhe ka rezistencë të shkëlqyer ndaj dridhjeve. Struktura e tij e brendshme kristalore minerale është kompakte, e cila mund të zvogëlojë në mënyrë efektive energjinë e dridhjeve dhe të shtypë shpejt përhapjen e dridhjeve. Të dhënat eksperimentale tregojnë se nën të njëjtin burim dridhjeje, baza e granitit mund të zvogëlojë amplitudën e dridhjeve me më shumë se 90% brenda 0.5 sekondave. Krahasuar me bazën metalike, ajo mund ta rikthejë pajisjen në stabilitet më shpejt, duke siguruar pozicionin relativ të saktë midis lentes së fotolitografisë dhe pllakës, dhe duke shmangur turbullimin e modelit ose mospozicionimin e shkaktuar nga dridhja.
Ndërkohë, koeficienti i zgjerimit termik të granitit është jashtëzakonisht i ulët, afërsisht (4-8) ×10⁻⁶/℃, që është shumë më i ulët se ai i materialeve metalike. Gjatë funksionimit të makinës së fotolitografisë, edhe nëse temperatura e brendshme luhatet për shkak të faktorëve të tillë si gjenerimi i nxehtësisë nga burimi i dritës dhe fërkimi nga përbërësit mekanikë, baza e granitit mund të ruajë stabilitetin dimensional dhe nuk do të pësojë deformime të konsiderueshme për shkak të zgjerimit dhe tkurrjes termike. Ajo siguron mbështetje të qëndrueshme dhe të besueshme për sistemin optik dhe platformën e lëvizjes precize, duke ruajtur qëndrueshmërinë e saktësisë së fotolitografisë.
Koha e postimit: 20 maj 2025