Në prodhimin e gjysmëpërçuesve, makina fotolitografike është një pajisje kyçe që përcakton saktësinë e çipave, dhe baza e granitit, me karakteristikat e saj të shumëfishta, është bërë një komponent i domosdoshëm i makinës së fotolitografisë.
Stabiliteti termik: "Mburoja" kundër ndryshimeve të temperaturës
Kur një makinë fotolitografike është në punë, ajo gjeneron një sasi të madhe nxehtësie. Edhe një luhatje e temperaturës prej vetëm 0.1℃ mund të shkaktojë deformim të komponentëve të pajisjes dhe të ndikojë në saktësinë e fotolitografisë. Koeficienti i zgjerimit termik të granitit është jashtëzakonisht i ulët, vetëm 4-8 ×10⁻⁶/℃, që është afërsisht 1/3 e atij të çelikut dhe 1/5 e atij të lidhjes së aluminit. Kjo i mundëson bazës së granitit të ruajë stabilitetin dimensional kur makina fotolitografike funksionon për një kohë të gjatë ose kur temperatura e mjedisit ndryshon, duke siguruar pozicionimin e saktë të komponentëve optikë dhe strukturave mekanike.
Performancë super anti-dridhje: "Sfungjeri" që thith dridhjet
Në një fabrikë gjysmëpërçuesish, funksionimi i pajisjeve përreth dhe lëvizja e njerëzve mund të gjenerojnë vibrime. Graniti ka një dendësi të lartë dhe një strukturë të fortë, dhe ka veti të shkëlqyera amortizimi, me një raport amortizimi 2 deri në 5 herë më të lartë se ai i metaleve. Kur vibrimet e jashtme transmetohen në bazën e granitit, fërkimi midis kristaleve të brendshme minerale e shndërron energjinë e vibrimit në energji nxehtësie për shpërndarje, gjë që mund ta zvogëlojë ndjeshëm dridhjen në një kohë të shkurtër, duke i lejuar makinës së fotolitografisë të rivendosë shpejt stabilitetin dhe të shmangë turbullimin ose keqpozicionimin e modelit të fotolitografisë për shkak të dridhjeve.
Stabiliteti kimik: "Rojtari" i një mjedisi të pastër
Pjesa e brendshme e një makine fotolitografike bie në kontakt me mjedise të ndryshme kimike, dhe materialet metalike të zakonshme janë të prirura ndaj korrozionit ose çlirimit të grimcave. Graniti përbëhet nga minerale të tilla si kuarci dhe feldspati. Ai ka veti kimike të qëndrueshme dhe rezistencë të fortë ndaj korrozionit. Pasi zhytet në tretësira acide dhe alkaline, korrozioni sipërfaqësor është jashtëzakonisht i vogël. Ndërkohë, struktura e tij e dendur pothuajse nuk gjeneron mbeturina ose pluhur, duke përmbushur kërkesat e standardeve më të larta të dhomave të pastra dhe duke zvogëluar rrezikun e kontaminimit të pllakave.
Përshtatshmëria e përpunimit: "Materiali ideal" për krijimin e standardeve të sakta
Komponentët kryesorë të makinës së fotolitografisë duhet të instalohen në një sipërfaqe referimi me precizion të lartë. Struktura e brendshme e granitit është uniforme dhe është e lehtë të përpunohet me precizion jashtëzakonisht të lartë përmes bluarjes, lustrimit dhe teknikave të tjera. Sheshësia e tij mund të arrijë ≤0.5μm/m, dhe vrazhdësia e sipërfaqes Ra është ≤0.05μm, duke siguruar një bazë të saktë instalimi për komponentë të tillë si lentet optike.
Jetëgjatësi e gjatë dhe pa mirëmbajtje: "Mjetet e mprehta" për uljen e kostove
Krahasuar me materialet metalike që janë të prirura ndaj lodhjes dhe çarjeve gjatë përdorimit afatgjatë, graniti mezi i nënshtrohet deformimit ose thyerjes plastike nën ngarkesa normale dhe nuk kërkon trajtim sipërfaqësor, duke shmangur kështu rrezikun e zhveshjes dhe kontaminimit të veshjes. Në aplikimet praktike, pas përdorimit për shumë vite, treguesit kryesorë të performancës së bazës së granitit mund të mbeten ende të qëndrueshëm, duke ulur kostot e funksionimit dhe mirëmbajtjes së pajisjeve.
Nga stabiliteti termik, rezistenca ndaj dridhjeve deri te inercia kimike, karakteristikat e shumëfishta të bazës së granitit i plotësojnë në mënyrë të përkryer kërkesat e makinës fotolitografike. Ndërsa procesi i prodhimit të çipave vazhdon të zhvillohet drejt saktësisë më të lartë, bazat e granitit do të vazhdojnë të luajnë një rol të pazëvendësueshëm në fushën e prodhimit të gjysmëpërçuesve.
Koha e postimit: 20 maj 2025