Në punishten e prodhimit të gjysmëpërçuesve, kërkesat e procesit të prodhimit të çipave për kushtet mjedisore dhe saktësinë e pajisjeve janë ekstreme, dhe çdo devijim i vogël mund të çojë në një rënie të ndjeshme të rendimentit të çipit. Platforma e lëvizjes së portalit me precizion XYZT mbështetet në komponentët e granitit për të bashkëpunuar me pjesë të tjera të platformës për të ndërtuar një themel të fortë për arritjen e saktësisë në shkallë nano.
Veti të shkëlqyera bllokuese të dridhjeve
Në punishten e prodhimit të gjysmëpërçuesve, funksionimi i pajisjeve periferike dhe personelit që lëviz përreth mund të shkaktojë dridhje. Struktura e brendshme e komponentëve të granitit është e dendur dhe uniforme, me karakteristika të larta natyrale amortizimi, si një "barrierë" efikase e dridhjeve. Kur dridhja e jashtme transmetohet në platformën XYZT, komponenti i granitit mund të zbusë në mënyrë efektive më shumë se 80% të energjisë së dridhjeve dhe të zvogëlojë ndërhyrjen e dridhjeve në saktësinë e lëvizjes së platformës. Në të njëjtën kohë, platforma është e pajisur me një sistem udhëzues të notuesit me ajër me precizion të lartë, i cili funksionon së bashku me komponentët e granitit. Udhëzuesi i notuesit me ajër përdor filmin e qëndrueshëm të gazit të formuar nga gazi me presion të lartë për të realizuar lëvizjen pa kontakt të pezullimit të pjesëve lëvizëse të platformës dhe për të zvogëluar dridhjet e vogla të shkaktuara nga fërkimi mekanik. Së bashku, të dyja sigurojnë që saktësia e pozicionimit të platformës të mbahet gjithmonë në nivelin e nanometrit në procese kyçe si litografia e çipave dhe gdhendja, dhe të shmangë devijimin e modeleve të qarkut të çipave të shkaktuara nga dridhja.
Stabilitet i shkëlqyer termik
Luhatja e temperaturës dhe lagështisë në punishte ka një ndikim të madh në saktësinë e pajisjeve të prodhimit të çipave. Koeficienti i zgjerimit termik të granitit është shumë i ulët, përgjithësisht në 5-7 ×10⁻⁶/℃, madhësia mbetet pothuajse e pandryshuar kur temperatura ndryshon. Edhe nëse ndryshimi i temperaturës midis ditës dhe natës në punishte ose prodhimi i nxehtësisë së pajisjeve shkakton luhatje të temperaturës së ambientit, përbërësit e granitit mund të mbeten të qëndrueshëm për të parandaluar deformimin e platformës për shkak të zgjerimit dhe tkurrjes termike. Në të njëjtën kohë, sistemi inteligjent i kontrollit të temperaturës i pajisur me platformën monitoron temperaturën e ambientit në kohë reale, rregullon automatikisht pajisjet e ajrit të kondicionuar dhe të shpërndarjes së nxehtësisë, dhe mban temperaturën e punishtes në 20 °C ±1 °C. I kombinuar me avantazhet e stabilitetit të nxehtësisë së granitit, siguron që platforma në funksionim afatgjatë, saktësia e lëvizjes së secilit bosht të përmbushë gjithmonë standardet e precizionit nanometër të prodhimit të çipave, për të siguruar që madhësia e modelit të litografisë së çipit të jetë e saktë, thellësia e gdhendjes të jetë uniforme.
Përmbushni nevojat për një mjedis të pastër
Punishtja e prodhimit të gjysmëpërçuesve duhet të mbajë një shkallë të lartë pastërtie për të parandaluar ndotjen e çipit nga grimcat e pluhurit. Materiali i granitit në vetvete nuk prodhon pluhur dhe sipërfaqja është e lëmuar, duke mos thithur lehtë pluhurin. Platforma në tërësi përdor një dizajn strukture plotësisht të mbyllur ose gjysmë të mbyllur për të zvogëluar hyrjen e pluhurit të jashtëm. Sistemi i qarkullimit të ajrit të brendshëm është i lidhur me sistemin e ajrit të pastër të punishtes për të siguruar që pastërtia e ajrit të brendshëm të arrijë nivelin e kërkuar nga prodhimi i çipave. Në këtë mjedis të pastër, përbërësit e granitit nuk do të ndikojnë në performancë për shkak të erozionit të pluhurit, dhe përbërësit kryesorë si sensorët dhe motorët me precizion të lartë të platformës gjithashtu mund të funksionojnë në mënyrë të qëndrueshme, duke ofruar garanci të vazhdueshme dhe të besueshme të saktësisë në shkallë nano për prodhimin e çipave dhe duke ndihmuar industrinë e gjysmëpërçuesve të kalojë në një nivel më të lartë procesi.
Koha e postimit: 14 Prill 2025