Në fushën e inspektimit të pllakave gjysmëpërçuese, pastërtia e mjedisit të dhomës së pastër lidhet drejtpërdrejt me rendimentin e produktit. Ndërsa saktësia e proceseve të prodhimit të çipave vazhdon të përmirësohet, kërkesat për platformat mbajtëse të pajisjeve të zbulimit po bëhen gjithnjë e më të rrepta. Platformat e granitit, me karakteristikat e tyre të çlirimit zero të joneve metalike dhe ndotjes së ulët të grimcave, kanë tejkaluar materialet tradicionale të çelikut inox dhe janë bërë zgjidhja e preferuar për pajisjet e inspektimit të pllakave.
Graniti është një shkëmb magmatik natyror i përbërë kryesisht nga minerale jometalike si kuarci, feldspati dhe mika. Kjo karakteristikë i jep atij avantazhin e çlirimit zero të joneve metalike. Në të kundërt, çeliku inox, si një aliazh metalesh si hekuri, kromi dhe nikeli, është i prirur ndaj korrozionit elektrokimik në sipërfaqen e tij për shkak të erozionit të avujve të ujit dhe gazrave acidikë ose alkaline në një mjedis dhome të pastër, duke rezultuar në reshjet e joneve metalike si Fe²⁺ dhe Cr³⁺. Pasi këto jone të vogla ngjiten në sipërfaqen e pllakës, ato do të ndryshojnë vetitë elektrike të materialit gjysmëpërçues në proceset pasuese si fotolitografia dhe gdhendja, do të shkaktojnë zhvendosje të tensionit në prag të tranzistorit dhe madje do të çojnë në qarqe të shkurtra në qark. Të dhënat e testimit të institucioneve profesionale tregojnë se pasi platforma e granitit u ekspozua vazhdimisht në një mjedis të simuluar të temperaturës dhe lagështisë së dhomës së pastër (23±0.5℃, 45%±5% RH) për 1000 orë, çlirimi i joneve metalike ishte më i ulët se kufiri i zbulimit (< 0.1ppb). Shkalla e defekteve të napolitanëve të shkaktuara nga ndotja me jone metalike kur përdoren platforma çeliku inox mund të jetë deri në 15% deri në 20%.
Për sa i përket kontrollit të ndotjes nga grimcat, platformat e granitit gjithashtu performojnë jashtëzakonisht mirë. Dhomat e pastra kanë kërkesa jashtëzakonisht të larta për përqendrimin e grimcave të pezulluara në ajër. Për shembull, në dhomat e pastra të Klasës 1 ISO, numri i grimcave 0.1μm të lejuara për metër kub nuk tejkalon 10. Edhe nëse platforma e çelikut inox i është nënshtruar trajtimit të lustrimit, ajo prapë mund të prodhojë mbeturina metalike ose zhveshje të shkallës së oksidit për shkak të forcave të jashtme, siç janë dridhjet e pajisjeve dhe funksionimi i personelit, të cilat mund të ndërhyjnë në rrugën optike të zbulimit ose të gërvishtin sipërfaqen e pllakës. Platformat e granitit, me strukturën e tyre të dendur minerale (dendësia ≥2.7g/cm³) dhe fortësinë e lartë (6-7 në shkallën Mohs), nuk janë të prirura për t'u konsumuar ose thyer gjatë përdorimit afatgjatë. Matjet e matura tregojnë se ato mund të zvogëlojnë përqendrimin e grimcave të pezulluara në ajrin e zonës së pajisjeve të zbulimit me më shumë se 40% krahasuar me platformat e çelikut inox, duke ruajtur në mënyrë efektive standardet e klasës së dhomave të pastra.
Përveç karakteristikave të pastra, performanca gjithëpërfshirëse e platformave të granitit e tejkalon shumë atë të çelikut inox. Për sa i përket stabilitetit termik, koeficienti i zgjerimit termik është vetëm (4-8) ×10⁻⁶/℃, më pak se gjysma e atij të çelikut inox (rreth 17×10⁻⁶/℃), gjë që mund të ruajë më mirë saktësinë e pozicionimit të pajisjeve të zbulimit kur temperatura në dhomën e pastër luhatet. Karakteristika e lartë e amortizimit (raporti i amortizimit > 0.05) mund të zbusë shpejt dridhjen e pajisjeve dhe të parandalojë dridhjen e sondës së zbulimit. Rezistenca e saj natyrale ndaj korrozionit i mundëson asaj të mbetet e qëndrueshme edhe kur ekspozohet ndaj tretësve fotorezistë, gazrave të gdhendjes dhe kimikateve të tjera pa pasur nevojë për mbrojtje shtesë të veshjes.
Aktualisht, platformat e granitit përdoren gjerësisht në impiantet e përparuara të prodhimit të pllakave të predhave. Të dhënat tregojnë se pas adoptimit të platformës së granitit, shkalla e gjykimit të gabuar të zbulimit të grimcave në sipërfaqen e pllakave të predhave është ulur me 60%, cikli i kalibrimit të pajisjeve është zgjatur me tre herë dhe kostoja e përgjithshme e prodhimit ka rënë me 25%. Ndërsa industria e gjysmëpërçuesve lëviz drejt saktësisë më të lartë, platformat e granitit, me avantazhet e tyre kryesore si çlirimi zero i joneve metalike dhe ndotja e ulët e grimcave, do të vazhdojnë të ofrojnë mbështetje të qëndrueshme dhe të besueshme për inspektimin e pllakave të predhave, duke u bërë një forcë e rëndësishme që nxit përparimin e industrisë.
Koha e postimit: 20 maj 2025