Në fushat e prodhimit të nivelit të lartë dhe kërkimit shkencor të përparuar, platforma e lëvizjes lundruese me ajër statik me presion preciz është pajisja kryesore për të arritur funksionim me precizion ultra të lartë. Baza e precizionit prej graniti është pjesa kryesore mbështetëse e platformës dhe performanca e saj është e lidhur ngushtë me mjedisin e punës. Kuptimi dhe përmbushja e këtyre kërkesave mjedisore jo vetëm që mund të sigurojë funksionimin me precizion të lartë të platformës, por edhe një pjesë të rëndësishme të ndërmarrjes për të rritur konkurrueshmërinë e saj në fusha të ngjashme, gjë që përshkruhet në detaje më poshtë.
1. Temperatura: kontroll i saktë për të siguruar stabilitetin dimensional
Edhe pse graniti njihet për stabilitetin e tij, koeficienti i tij i zgjerimit termik nuk është zero, dhe ndryshimet e vogla të temperaturës mund të ndikojnë ende në saktësinë e tij dimensionale. Në përgjithësi, koeficienti i zgjerimit termik të granitit është 5-7 ×10⁻⁶/℃. Në skenarin e aplikimit të platformës së lëvizjes lundruese me ajër me presion statik preciz, ky ndryshim i vogël amplifikohet nga platforma, gjë që mund të çojë në devijim të saktësisë së lëvizjes. Për shembull, në procesin e prodhimit të çipave gjysmëpërçues, procesi i litografisë për kërkesat e saktësisë së pozicionimit të nivelit danami, luhatja e temperaturës së ambientit prej 1 ° C, gjatësia anësore e bazës së granitit prej 1 metër mund të prodhojë 5-7 mikronë zgjerim ose tkurrje lineare, e cila është e mjaftueshme për të bërë devijimin e modelit të litografisë së çipit, duke zvogëluar rendimentin. Prandaj, platforma lundruese me ajër me presion statik preciz e pajisur me bazë graniti preciz, temperatura ideale e mjedisit të punës duhet të kontrollohet rreptësisht në 20 ° C ± 1 ° C, ndërmarrjet mund të instalojnë sisteme ajri të kondicionuar me temperaturë konstante me precizion të lartë, të monitorojnë vazhdimisht dhe të rregullojnë me saktësi temperaturën e ambientit, të ruajnë stabilitetin e madhësisë së bazës së granitit, për të siguruar që platforma të funksionojë me precizion të lartë.
2.lagështia: kontroll i arsyeshëm, mbron performancën bazë
Lagështia gjithashtu ka një efekt të rëndësishëm në bazat e granitit me precizion. Në një mjedis me lagështi të lartë, graniti thith lehtë avujt e ujit dhe mund të ketë kondensim në sipërfaqe, i cili jo vetëm që do të ndërhyjë në funksionimin normal të sistemit të lundrimit me ajër, por gjithashtu do të çojë në erozion afatgjatë të sipërfaqes së granitit, duke zvogëluar saktësinë dhe jetëgjatësinë e saj. Duke marrë si shembull punishten e bluarjes së lenteve optike, nëse lagështia është më e lartë se 60% RH për një kohë të gjatë, avujt e ujit të adsorbuar në sipërfaqen e bazës së granitit do të shkatërrojnë uniformitetin e filmit të lundrimit me ajër, duke rezultuar në një ulje të saktësisë së bluarjes së lenteve dhe defekteve sipërfaqësore. Prandaj, lagështia relative e mjedisit të punës duhet të kontrollohet midis 40%-60% RH. Ndërmarrjet mund të përdorin tharëse lagështie, sensorë lagështie dhe pajisje të tjera për të monitoruar dhe kontrolluar lagështinë në kohë reale, për të krijuar një mjedis të përshtatshëm lagështie për bazën e granitit me precizion dhe për të siguruar funksionimin e qëndrueshëm të platformës së lëvizjes së ajrit lundrues me presion statik preciz.
3. pastërtia: kontroll i rreptë, eliminimi i ndërhyrjes së grimcave
Grimcat e pluhurit janë "armiqtë" e platformës së lëvizjes së ajrit me presion statik preciz dhe i shkaktojnë dëme të mëdha bazës së granitit preciz. Pasi grimcat e vogla hyjnë në hendekun e filmit të gazit midis rrëshqitësit të notit të gazit dhe bazës së granitit, ato mund të shkatërrojnë uniformitetin e filmit të gazit, të rrisin fërkimin dhe madje të gërvishtin sipërfaqen e bazës, duke ndikuar seriozisht në saktësinë e lëvizjes së platformës. Në punishten e përpunimit ultra preciz të pjesëve të hapësirës ajrore, nëse grimcat e pluhurit në ajër bien mbi bazën e granitit, trajektorja e lëvizjes së mjetit të përpunimit mund të devijohet, duke ndikuar në saktësinë e përpunimit të pjesëve. Prandaj, zona e punës duhet të mbahet shumë e pastër dhe të arrijë një standard pastërtie prej 10,000 ose edhe më të lartë. Ndërmarrjet mund të filtrojnë grimcat e pluhurit në ajër duke instaluar filtra ajri me efikasitet të lartë (HEPA) dhe kërkojnë që stafi të veshë rroba pa pluhur, mbulesa këpucësh etj., për të zvogëluar pluhurin e sjellë nga njerëzit dhe për të ruajtur mjedisin operativ me precizion të lartë të bazës së granitit dhe platformës së lëvizjes së ajrit me presion statik preciz.
4. Dridhje: Izolim efektiv për të krijuar një hapësirë të lëmuar
Dridhja e jashtme do të ndërhyjë seriozisht në saktësinë e platformës lundruese me ajër statik preciz, megjithëse baza e granitit preciz ka një kapacitet të caktuar zbutjeje të dridhjeve, por dridhja me forcë të lartë mund të kalojë prapë kufirin e saj të tamponit. Dridhja e gjeneruar nga trafiku përreth fabrikës dhe funksionimi i pajisjeve të mëdha mekanike transmetohet në bazën e granitit përmes tokës, gjë që do të ndërhyjë në saktësinë e lëvizjes së platformës. Në CMM të nivelit të lartë, dridhja mund të shkaktojë që kontakti midis sondës matëse dhe pjesës së punës që do të matet të jetë i paqëndrueshëm, duke rezultuar në devijim të të dhënave të matjes. Për të zgjidhur këtë problem, është e nevojshme të merren masa efektive të izolimit të dridhjeve, të tilla si vendosja e jastëkëve të izolimit të dridhjeve në zonën e instalimit të pajisjeve, ndërtimi i themelit të izolimit të dridhjeve ose përdorimi i një sistemi aktiv të izolimit të dridhjeve për të kompensuar në mënyrë aktive dridhjet e jashtme, dhe për të krijuar një mjedis pune të qetë dhe të qëndrueshëm për bazën e granitit preciz dhe platformën e lëvizjes lundruese me ajër statik preciz.
Përmbushni kërkesat e mësipërme mjedisore, në mënyrë që të shfrytëzoni plotësisht avantazhet e bazës precize të granitit në platformën e lëvizjes lundruese me ajër me presion statik preciz, për të siguruar që platforma të ofrojë shërbime të kontrollit të lëvizjes me precizion të lartë dhe stabilitet të lartë për industri të ndryshme. Nëse ndërmarrjet mund t'i kushtojnë vëmendje këtyre detajeve në mjedisin e prodhimit, ato do të shfrytëzojnë mundësinë në prodhimin preciz, kërkimin shkencor dhe fusha të tjera, do të rrisin konkurrueshmërinë e tyre dhe do të arrijnë zhvillim të qëndrueshëm.
Koha e postimit: 10 Prill 2025