Në hallkën kyçe të prodhimit të çipave - skanimin e pllakave, saktësia e pajisjeve përcakton cilësinë e çipit. Si një komponent i rëndësishëm i pajisjeve, problemi i zgjerimit termik të bazës së makinës së granitit ka tërhequr shumë vëmendje.
Koeficienti i zgjerimit termik të granitit është zakonisht midis 4 dhe 8×10⁻⁶/℃, që është shumë më i ulët se ai i metaleve dhe mermerit. Kjo do të thotë që kur temperatura ndryshon, madhësia e tij ndryshon relativisht pak. Megjithatë, duhet theksuar se zgjerimi i ulët termik nuk do të thotë se nuk ka zgjerim termik. Nën luhatje ekstreme të temperaturës, edhe zgjerimi më i vogël mund të ndikojë në saktësinë nanoskalë të skanimit të pllakave.
Gjatë procesit të skanimit të pllakave të plastikës, ka arsye të shumta për shfaqjen e zgjerimit termik. Luhatjet e temperaturës në punishte, nxehtësia e gjeneruar nga funksionimi i komponentëve të pajisjeve dhe temperatura e lartë e menjëhershme e shkaktuar nga përpunimi me lazer do të shkaktojnë që baza e granitit të "zgjerohet dhe tkurret për shkak të ndryshimeve të temperaturës". Pasi baza t'i nënshtrohet zgjerimit termik, drejtësia e shinës udhëzuese dhe rrafshësia e platformës mund të devijojnë, duke rezultuar në trajektoren e lëvizjes së pasaktë të tryezës së pllakave të plastikës. Komponentët optikë mbështetës gjithashtu do të zhvendosen, duke shkaktuar që rrezja e skanimit të "devijojë". Puna e vazhdueshme për një kohë të gjatë do të grumbullojë gjithashtu gabime, duke e bërë saktësinë gjithnjë e më të keqe.
Por mos u shqetësoni. Njerëzit tashmë kanë zgjidhje. Sa i përket materialeve, venat e granitit me një koeficient më të ulët të zgjerimit termik do të zgjidhen dhe do t'i nënshtrohen trajtimit të plakjes. Sa i përket kontrollit të temperaturës, temperatura e punishtes kontrollohet saktësisht në 23±0.5℃ ose edhe më poshtë, dhe një pajisje aktive e shpërndarjes së nxehtësisë do të projektohet gjithashtu për bazën. Sa i përket projektimit strukturor, përdoren struktura simetrike dhe mbështetëse fleksibile, dhe monitorimi në kohë reale kryhet përmes sensorëve të temperaturës. Gabimet e shkaktuara nga deformimi termik korrigjohen dinamikisht nga algoritmet.
Pajisjet e nivelit të lartë, siç janë makinat e litografisë ASML, nëpërmjet këtyre metodave, e mbajnë efektin e zgjerimit termik të bazës së granitit brenda një diapazoni jashtëzakonisht të vogël, duke bërë të mundur që saktësia e skanimit të pllakave të arrijë nivelin e nanometrit. Prandaj, për sa kohë që kontrollohet siç duhet, baza e granitit mbetet një zgjedhje e besueshme për pajisjet e skanimit të pllakave të granitit.
Koha e postimit: 12 qershor 2025